Einrichtungen

Das multidisziplinäre Nano-Strukturierungs-Labor ist die zentrale Forschungseinheit von LISA+.

Dieses beinhaltet einen Reinraum (Gesamtfläche 440 m2; 102 m2 Klasse 1000 und 156 m2 Klasse 10000)

und Laborfläche verteilt auf über 20 Räume (Gesamtfläche ∼800 m2).

 

 

 

Die Technische Grundausstattung von LISA+ lässt sich vier Forschungsbereichen zuordnen:

 

  1. Dünnfilmdeposition
  2. Mikro & Nanostrukturierung
  3. Dünnfilm- / Oberflächenanalyse
  4. Laser-Raster-Mikroskopie, Ultrakurzzeit-Laser.